グローブボックス用赤外線ヒーター素子

ファブ内では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成時に生じる熱変動は、単に生産効率を低下させるだけではありません。これにより、ウェーハの寸法が変わり、歩留まりも悪化します。グローブボックス内では、厳しい環境下で均一な温度を維持する必要があります。そこで、従来のヒーターでは粒子を発生させずに均一性を...