なぜ、すべての赤外線ランプをテストするのか？（そして、それがあなたにとって何故重要なのか） 私たちの赤外線硬化ランプは、極めて過酷な環境で使用されます。工業用の硬化処理のために石英管に高い電力を供給すると、非常に高い温度や大きな電気的ストレスが生じます。 実際、絶縁体に微小な穴があったり、端蓋の密...

なぜ半導体工場は大きな対流式オーブンをIR硬化装置に置き換えているのか ほとんどの半導体工場では、その巨大な対流式オーブンが使われなくなっている。これは理にかなっている。グリーンエネルギーへの取り組みや、無鉛材料に関する厳しい規制の影響で、昔の方法ではもはや十分ではないのだ。 実際のところ、IR硬...

爆発性環境におけるIRランプの安全な使用法 正直に言って、赤外線加熱ランプを化学洗浄タンクの中に入れるのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性または爆発性のある蒸気が存在する場合、わずかな火花やランプの破損だけで、普通の作業日が大惨事に変わってしまいます。 私たちはそのようなリスクを冒しません。...

化学処理を行う場所でのIR加熱装置の安全な使用方法 もし、化学洗浄ラインを運用しているなら、ご存知の通り、使用される溶剤は多くが可燃性または爆発性を持っています。そのような環境に赤外線ランプを使うのは、まさに問題を招く行為です。 災害を未然に防ぐために、私たちは特別に設計されたステンレス製のケース...

もうヒーターを待つのはやめましょう：強制送風式からIR加熱への移行 ファブ内のクリーンルーム設備をアップグレードするとき、人々は通常、処理速度にこだわります。しかし、実際には、深層的な処理段階では、問題の本質は処理自体ではなく、温度が所定値に達するまでの時間です。 私たちの多くは、熱風を使った加熱...

なぜ私たちは炭素繊維を利用した赤外線照射方式に切り替えるのか？ 正直に言って、従来の対流式オーブンや溶剤を使った乾燥方法は面倒です。処理に時間がかかり、汚れも多く、さらには、工場内で使いたくないような化学物質が必要になります。 だからこそ、私たちは炭素繊維を利用した赤外線ランプを採用したのです。こ...

ファブ内での汚染について心配する必要はありません。 クラス100のクリーンルームを運用している場合、ミスの余地は一切ありません。わずかなほこりや、安価な加熱素子から発生するガスでも、シリコンウェハーは台無しになってしまいます。これは真っ赤な悪夢です。 だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRラ...

製造ライン上において、ファブヒーターの熱プロファイルはそれに供給される電力の安定性に左右される。電圧降下、接続端子の緩み、あるいは抵抗値が変動するケーブルは、ウェーハレベルの非均一性として現れる可能性がある。例えば、リソグラフィのライン幅のばらつきや、フォトレジストのベイク結果の不均一性が挙げられ...

ファブフロアでは、温度ドリフトが警告ラベルで示されることはない。ライン歩留まりの低下、モニター上の粒子スパイク、あるいはフォトレジストのプロファイルがシフトごとに徐々に変動し始めることで初めて気づくものである。ウェハー乾燥、フォトレジストのソフトベークおよびハードベーク、パッケージングの硬化におい...