如何保持100级洁净室的清洁状态 在运营100级洁净室时，供暖是个棘手的问题。问题不在于温度本身，而在于那些看不见的微小颗粒。 普通的红外灯就存在这个问题——它们的端盖会释放出微小的金属碎片。如果这些碎片落在晶圆或光学涂层上，那就等于白白浪费了很多钱。 我们通过使用高纯度石英管以及专门的陶瓷端盖来...

在300毫米晶圆加工过程中，一旦烘烤过程的参数出现偏差，就能立刻察觉到。此时，晶圆的线条宽度会变得不稳定，显影后还会出现杂质。当加热区域与设定温度发生冲突时，就会导致光刻胶的浪费，进而影响产品的良率。我们设计的红外加热系统就是为了在问题出现之前就加以解决。 从技术角度来看，什么才是最重要的？ 短波...