아이스트론 히터 엘리먼트 스페어

공정에서의 Aixtron MOCVD 챔버 공정 현장에서 Aixtron MOCVD 챔버는 결코 여유를 주지 않습니다. 히터 요소가 드리프트하기 시작하면 즉시 알 수 있습니다: 섭스트레이트 전반의 온도 비균일성, 런 투 런 반복성이 떨어짐, 에피 프로파일이 불안정해져 웨...