RTP 시스템용 할로겐 램프

생산 현장에서는 알다시피, 포토레지스트를 굽는 과정에서 0.5°C만의 온도 변화라도 있으면 치명적인 오차가 발생하여 전체 제품이 폐기될 수 있습니다. RTP는 단순히 열을 가하는 것이 아니라, 클린룸의 환경에 방해되지 않으면서도 일관된 웨이퍼 수준의 온도 제어가 가능...