클린룸용 트롤리 히터가 폭발하지 않도록 하는 방법 반도체 제조 공장에서 트롤리에 장착된 히터가 고장나는 것은 단순한 “기술적 문제”에 그치지 않습니다. 그것은 진정한 재앙입니다. 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 웨이퍼 전체가 폐기될 수도 있습니다. 우리는 웨이...

무연 공정에서 왜 대류 오븐 대신 적외선 기술을 사용하는가? 오랫동안 우리는 모든 것을 대류 오븐에 넣고 그 결과를 기다려왔습니다. 하지만 상황이 변하고 있습니다. 무연이자 친환경적인 표준에 대한 요구가 커짐에 따라, 업계는 적외선 기술로 전환하고 있습니다. 이러한...

화학 물질이 있는 환경에서 적외선 히터가 폭발하지 않도록 하는 방법 반도체 제조 공장에서 작업할 때는, 히팅 램프가 화학 물질과 아주 가까운 거리에 있습니다. 이러한 환경에서는 일반적인 배선 방식이나 열린 단자를 사용하는 것은 치명적인 실수가 됩니다. 안전을 위해 우...

열 낭비를 막아야 합니다: 왜 금으로 된 반사판이 중요한가요? 웨이퍼를 가열할 때, 더 많은 에너지를 사용하면 더 좋은 결과가 나올 것이라고 생각하기 쉽습니다. 하지만 문제는, 그 에너지가 웨이퍼에 전혀 도달하지 않는다면 아무 소용이 없다는 것입니다. 대부분의 반사판...

팹에서 웨이퍼 특성 분석을 진행할 때 온도의 변동은 수율 예측 모델을 망가뜨리고 공정 범위를 줄여버립니다. 0.5도 정도의 온도 변동만으로도 장치의 한계가 숨겨질 수 있으며, 이를 해결하기 위해 반복적인 가열을 하면 포토레지스트가 손상되고 시간도 낭비됩니다. 필요한...

오븐의 온도 변동은 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신, 노출 후에 중요한 치수값이 변하거나, 포토레지스트 프로파일에 이상이 생기거나, 수일이 걸려서야 문제가 발견됩니다. 웨이퍼 건조나 소프트 베이크, 하드 베이크 과정에서는 열 관리가 매우 중요합니다. 저희는 반도체...

팩 생산 현장에서 24시간 365일 가동 중단 없는 상태는 목표가 아니라 기본 전제조건이다. 포토레지스트 소프트 베이크나 하드 베이크 중에 단 한 번의 온도 편차가 발생하면 전체 로트가 전부 무효가 될 수 있다. 그래서 우리는 금도금 적외선 램프를 사용한다. 이는 입...

Fab 현장에서 퍼니스는 블랙박스가 아니다. 그것은 엄격히 제어되는 열 경계다. 램프 어레이가 성능 저하를 보이면 웨이퍼 전체의 온도 분포가 변한다. 포토레지스트 프로파일이 이동하고, 산화막 두께 편차가 커진다. 수율은 조용히, 그러나 수치로 하락한다. 우리가 디퓨전...