クリーンルーム内で使用されるヒーターが爆発しないようにするためには、何が必要かを考えてみましょう。半導体製造工場において、ヒーターが故障するというのは、単なる「技術的な問題」以上の深刻な問題です。それはまさに悪夢です。単に生産が停止するだけでなく、ウェーハ全体が廃棄処分になってしまう可能性もありま...

もうヒーターを待つのはやめましょう：強制送風式からIR加熱への移行 ファブ内のクリーンルーム設備をアップグレードするとき、人々は通常、処理速度にこだわります。しかし、実際には、深層的な処理段階では、問題の本質は処理自体ではなく、温度が所定値に達するまでの時間です。 私たちの多くは、熱風を使った加熱...