極端な紫外線耐性を持つヒーター：真実のエンジニアリング技術 私たちが開発した極端な紫外線（EUV）用ヒーターは、既存のアメリカや日本の高級ブランド製品にも引けを取らない性能を誇ります。違いは何かというと、同じレベルの性能を実現しながらも、お客様のコストを削減している点です。 しかし、物理的な原理に...

ファブ内では、フォトレジストの焼成処理は「一時停止」ではありません。それは、偽ることのできない重要な制御ポイントです。ソフトバーンまたはハードバーンの際に1℃の偏差が生じると、重要な寸法が目標値から外れ、線端の粗さが悪化します。私たちは、プロセスが要求する温度を維持するために、深紫外線用のレジスト...