300mmウェハを扱う際には、焼成プロファイルが不安定になるのを感じることができます。線幅が不安定になり、現像後には汚れが見られるようになります。ホットゾーンが設定値と戦っていると、フォトレジストの使用量が増え、結果として歩留まりが低下します。私たちは、そのような状況を未然に防ぐために、赤外線シス...

製造現場において、フォトレジストの加熱プロファイルに0.5℃のばらつきがあるだけでも、それは許されない。そうなるとウェーハは廃棄処分になってしまう。ウェーハは急速に移動するため、チャックはシフトごとに一貫した温度均一性を保つ必要がある。ヒーターがその要求に応えられない場合、生産効率が低下し、再作業...

ファブ内では、フォトレジストの焼成処理は「一時停止」ではありません。それは、偽ることのできない重要な制御ポイントです。ソフトバーンまたはハードバーンの際に1℃の偏差が生じると、重要な寸法が目標値から外れ、線端の粗さが悪化します。私たちは、プロセスが要求する温度を維持するために、深紫外線用のレジスト...

屋外用ヒーターの市場は非常に競争が激しいです。実際、すべての電気ヒーターが同じように作られているわけではありません。パティオや作業場、商業施設など、どこで使っても信頼できるヒーターが必要です。品質の悪いヒーターを使えば、文字通り寒さに耐えなければならず、暖かさも不均一になります。さらに、安全性にも...

ファブの現場では、よく知られているように、フォトレジストを加熱する際に0.5℃のばらつきがあっただけで、重要な寸法がナノメートル単位で変動し、その結果、生産されたウェーハが全滅してしまうこともあります。RTPというのは単なる加熱処理ではなく、クリーンルームの環境を損なわずに、再現性の高いウェーハレ...

製造現場では、わずか0.5度の温度変動だけでも、部品の寸法精度に影響を与え、歩留まりを低下させてしまいます。従来のヒーターでは、温度の遅れや端部分での温度上昇といった問題を解決することができず、その結果、製造工程に悪影響が出ます。そこで、私たちはIC処理用のコンパクトな赤外線乾燥機を開発し、こうし...

屋外での夜の時間を快適に過ごすためには、信頼できるほどの暖かさが必要です。赤外線パティオヒーターなら、すぐに温かくなりますが、その快適さは、配線が正常に機能している場合にのみ実現されます。これらの装置は屋外で使用されるため、雨や風、大きな温度変化にさらされます。そして、一般的に問題が生じやすいのは...

OLEDリソグラフィーにおいては、熱変動の余地はほとんどありません。もし加熱処理で温度が±0.5℃でもずれてしまうと、CDの均一性が悪化し、またレジストの形状も不安定になり、エッチングの際に問題が生じます。したがって、一定の温度を保つことができる乾燥ランプが必要です。日々の環境変化に影響されないよ...

地下室の空気の感じはご存知でしょう。階段を降りるとすぐに、その冷たい空気が暖かさを奪おうとするような感じです。強制送風式のヒーターでは、そんな状況では効果がありません。風や騒音が発生し、結局は何も温められないのです。効果的なのは、直接人や物体に熱を届ける方式です。そうすれば、冷たい場所も快適な場所...

太陽が沈み、空気が冷たくなっていきます。やがて、外でゆっくり過ごせるという期待も曖昧になってきます。従来のヒーターは熱い空気を放出しますが、その空気はすぐに上昇して消えてしまい、結局は寒さの中に立っているだけです。問題は、エネルギーを無駄にせずに、みんなが快適に過ごせる方法です。 技術的に重要な点...

ファブの現場では、ウェーハの特性評価中に温度が変動すると、歩留まりの予測モデルが崩れてしまい、プロセスの許容範囲も狭くなってしまいます。わずか半度の温度変動であっても、デバイスの限界を隠してしまうことがあります。そのため、何度も再処理を行うと、フォトレジストが損傷したり、時間が無駄になったりします...

フリップチップボンディングでは、温度分布が変化するとすぐに問題が生じます。ウェーハ上に低温領域ができ、その結果、アンダーフィル部分にも空洞ができてしまいます。これにより歩留まりが低下し、再加工が増え、スケジュールも乱れます。私たちは、このような不確実性を排除するために、フリップチップボンディング用...

大きなガラスの天井があるサンルームは、とても素敵です。しかし、最初の寒波が来ると、状況は一変します。熱気がガラスを通って逃げてしまい、部屋の中が風通しが悪くなり、予測不可能になります。従来の強制送風式の暖房装置では対応できません。ガラスが熱を奪い続けるため、暖房装置は繰り返し作動し続けます。その結...

ライン上では、オーブンの温度変動は警告灯として表示されません。代わりに、露光後に重要な寸法が変動したり、フォトレジストのプロファイルに乱れが生じたり、修正に数日かかるような問題が発生します。ウェーハの乾燥やソフトベーク、ハードベークでは、熱管理は厳格に制御されています。 私たちが開発した半導体用オ...

ファブフロアでは、フォトレジストのベークは選択肢ではなく熱的な約束事である。ウェーハ上で1.5℃のドリフトがあるだけで、クリティカルな線幅が不良率の増加につながる。これを踏まえ、モジュラー赤外線加熱アレイを設計し、プロセスが要求する再現性のあるかつ計測可能な制御を実現している。 技術的に重要な点...