클린룸의 워크벤치에서 열을 낭비하지 마세요.
실리콘 웨이퍼를 가열하는 작업을 해본 적이 있다면 그 고충을 잘 알 것입니다. 적외선 램프에 에너지를 공급해도, 그 에너지의 상당 부분이 그냥 사라져 버립니다.
일반적인 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 반사판이 없으면, 공급된 에너지의 절반 정도가 웨이퍼에 도달하지 못하고 워크벤치의 구조물만을 가열시킵니다. 이는 에너지의 낭비이며, 냉각 시스템에도 부담을 줍니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된 반사판을 사용합니다.
왜 금일까요?
듣기에는 화려해 보이지만, 사실은 물리학적 이유 때문입니다. 금은 적외선을 효과적으로 반사할 수 있습니다. 알루미늄도 저렴한 대안이긴 하지만, 온도가 높아질 때는 제대로 작동하지 않습니다.
금 코팅은 석영관에서 나오는 열을 다시 웨이퍼 쪽으로 전달합니다. 그 결과, 흩어진 열이 집중된 광선으로 변합니다. 필요한 곳에 더 많은 열을 공급할 수 있으며, 전력을 더 많이 사용하거나 장비에 부담을 주지 않아도 됩니다.
적절한 열 밀도를 유지하기
목표는 빠른 온도 상승입니다. 웨이퍼가 10분 후가 아니라 지금 당장 원하는 온도에 도달해야 합니다.
이러한 금 코팅을 사용하면, 소비되는 모든 전력이 제대로 작용합니다. 효율적이고 빠릅니다. 그리고 효과가 좋기 때문에, 전체 가열 장치도 더 작고 가볍게 만들 수 있습니다.
하지만 한 가지 문제가 있습니다. 금은 까다로운 소재입니다. 오염을 싫어합니다. 클린룸의 관리가 제대로 되지 않아 기름이나 화학물질이 반사판에 묻으면, 반사율이 떨어집니다. 그러면 열이 웨이퍼에 고르게 전달되지 않습니다. 이것이 바로 반사판을 점검해야 한다는 첫 번째 신호입니다.
설치 시 주의사항
이 제품들은 설치가 간편하도록 설계되었습니다. 기존 워크벤치에 그대로 교체할 수 있으므로, Z축 높이를 다시 조정할 필요가 없습니다.
전선 연결에 대한 한 가지 주의사항: 전원 공급 장치의 전압을 램프의 전압과 정확히 일치시켜야 합니다.
더러운 반사판을 보완하기 위해 램프에 과전압을 걸려고 하는 사람들이 있습니다. 그러지 마세요. 그렇게 하면 필라멘트가 너무 빨리 손상됩니다. 금 코팅을 깨끗하게 유지한다면, 열도 안정적으로 공급됩니다.