MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

더 이상 웨이퍼의 건조 시간을 추측하지 마세요: 왜 적외선이 최선의 방법인가요? MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 수분과의 전쟁을 치르는 셈입니다. 조금만 실수해도 표면 장력으로 인해 그 미세한 구조들이 서로 붙어버릴 수 있습니다. 이를 ‘스틱션’이라고 하며, 높은...