기계의 벽면을 가열하는 것을 그만두세요.
반도체 청정실에서는 잘못된 부분을 가열하는 것은 큰 문제가 됩니다.
대류식 난방이나 일반적인 방사형 히터를 사용한다면, 열이 여기저기로 퍼진다는 문제를 알고 있을 것입니다. 갑자기 기계의 내부 벽면이 너무 뜨거워져서 작업자가 화상을 입을 수도 있고, 섬세한 부품들도 열팽창으로 인해 손상될 수 있습니다. 이는 매우 위험한 상황입니다.
우리는 이 문제를 해결하기 위해 직접적인 적외선 난방 방식을 사용합니다.
핵심은 열이 어떻게 전달되는지에 있습니다.
마치 손전등과 같다고 생각하시면 됩니다. 대류식 난방은 공기만을 따뜻하게 하는 반면, 적외선 램프는 직선 형태로 에너지를 방출합니다. 우리는 이 램프들을 웨이퍼나 기판에 직접 비춥니다. 그러면 해당 물질이 에너지를 흡수하고, 주변 공기는 그대로 차가운 상태를 유지합니다. 금속 케이스도 차가운 상태를 유지합니다. 이렇게 하면 안전하게 만질 수 있는 공간 내에서만 높은 온도가 발생합니다.
작은 공간에서도 효과적인 난방
기계의 크기를 줄이기 위해 우리는 단파 적외선 발생기를 사용합니다. 이 발생기들은 아주 작은 크기에도 엄청난 에너지를 담을 수 있습니다. 매우 빠르게 목표 온도에 도달할 수 있습니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 고출력을 사용할 때는 상황이 복잡해집니다. 반사판에 흠이 있거나 약간만 비뚤어져 있어도 벽면에 ‘열점’이 생길 수 있습니다. 그래서 우리는 금과 알루미늄으로 만든 반사판의 표면을 꼼꼼하게 처리합니다. 반사광이 정확하게 방출되도록 해야 합니다.
모두에게 편리함을 제공합니다.
열을 낭비하지 않으면, 청정실의 HVAC 시스템도 그다지 힘들게 작동할 필요가 없습니다.
우리는 이러한 시스템을 기존의 구식 난방 장치를 대체할 수 있도록 설계했습니다. PID 컨트롤러와 연결하기만 하면 정확한 온도 조절이 가능합니다.
더 이상 ‘뜨거운 벽면’으로 인한 사고가 발생하지 않습니다. 작업자들도 기계에 가까이 다가갈 수 있으며, 주변 환경으로 인해 발생하는 잘못된 온도 경보도 더 이상 발생하지 않습니다. 정말 효과적인 방법입니다.