シャードの発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法
大量生産の半導体工場において、ランプが破損するというのは単なる「稼働停止」という問題にとどまりません。それはまさに悪夢です。
石英管が破損すると、ガラスの破片やハロゲンガスが至る所に飛び散ります。一度破損すれば、作成されたウェーハ全体が廃棄物になってしまいます。私たちは、このような事態を防ぐために、ランプの構造や材料に焦点を当てて、何年もかけて研究を重ねてきました。
汚れを内部に閉じ込める
私たちは、単層のガラスだけには頼りません。代わりに、二重構造を採用しています。主な石英管が熱に耐える役割を果たしますが、さらに二次的な保護フィルムや特別なコーティングを追加しています。これは一種の保険のようなものです。フィラメントが破損したり、管が圧力で割れたりしても、破片は内部に留まります。そうすれば、シリコン上にガラスの破片が降り注ぐ心配もありません。
本当に重要なのは何か
私たちは高純度の合成石英を使用しています。安価な石英には不純物が含まれており、高温になるとガスに変わり、ウェーハに悪影響を与えます。
また、ワット密度にも注意が必要です。局所的な過熱を避ける必要があります。
ヒントとして、ランプを過剰に動作させないことです。温度を早く上げるために電圧を高くするのは魅力的ですが、それはランプを壊す行為です。寿命が短くなり、破損のリスクも高まります。電源の出力がランプのインピーダンスに正確に合っているかを確認してください。
工場内での適切な取り扱い
接続部はしっかりと固定されていなければなりません。私たちは標準化されたコネクタを使用しています。緩んだ接続部ではアークが発生し、それがランプの端に熱ストレスを与え、結果として破損の原因となります。
また、設置時には十分注意してください。クリーンルームの規則を守ってください。石英に指紋が付くだけでもストレスの原因となります。次の加熱サイクルで、その小さな汚れが破損の原因になる可能性があります。使用前にIPAで軽く拭き取ってください。
最後に、冷却にも注意してください。システムがランプの端の温度を200℃未満に保てない場合、シール部品が劣化してしまいます。シール部品が壊れれば、管も破損してしまいます。