300mmウェハを扱う際には、焼成プロファイルが不安定になるのを感じることができます。線幅が不安定になり、現像後には汚れが見られるようになります。ホットゾーンが設定値と戦っていると、フォトレジストの使用量が増え、結果として歩留まりが低下します。私たちは、そのような状況を未然に防ぐために、赤外線システムを開発しました。
技術的に重要な点 短波長の赤外線エミッタアレイは、ウェハ全体の温度均一性を維持するように調整されており、ソフトベイク、ハードベイク、キュアリングの過程で300mmウェハの表面全体で±0.1℃の精度を保ちます。迅速な温度上昇により、温度の遅れがなくなり、所定の温度に到達します。ホットゾーンはクラス1からクラス100のクリーンルーム環境に適応可能で、定常状態では粒子を一切発生させません。これにより、計画外の停止時間なく、24時間365日安定して稼働し、毎回同じ品質のウェハが得られます。
リソグラフィーでの利点 リソグラフィーにおいて、ソフトベイクは溶剤の除去やフィルムの応力管理に役立ちます。ハードベイクでは、画像が固定され、エッチングやイメプランテーションの準備が整います。均一な赤外線加熱により、ウェハ全体でガラス転移挙動が一定に保たれます。エッジ部分の挙動も予測可能で、重要な寸法も保たれます。その結果、再作業が減り、ばらつきが少なくなり、スクラップも減少します。 また、エネルギー消費も削減されます。システムは対象領域のみを加熱し、迅速に温度を上昇させるため、熱蓄積が抑えられ、電力消費も少なくなります。
実用性 ホットゾーンはコンパクトで、トラックやコーティング/ベイクモジュールに組み込むことができます。ウェハの取り出し部分のスペースは限られているため、空気の流れも既存の排気システムに合わせて調整する必要があります。 設定にかかる時間は短く、ランプの出力や放射率、PIDを調整すればよいだけです。一度設定すれば、プロファイルは繰り返し再現されます。しかし、フォトレジストの種類を変更したり、より厚いフィルムを使用する場合は、同じ均一性と性能を保つために再調整が必要になります。