MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

ウェーハの乾燥時間を推測するのはやめましょう。IRが最適な解決策です。 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるとき、湿気という危険な要素と格闘していることになります。少しでも間違えると、表面張力によって微細な構造がくっついてしまいます。これを「スティクション」と呼び、高い歩留まりを維持しようとする...