清潔を保つために：ウェハー加熱の現実
半導体業界においては、わずかな汚れがあっても大惨事となります。クラス100のクリーンルームで作業を行う場合、加熱素子から出るわずかな破片でも、ウェハー全体が台無しになってしまいます。そのため、私たちは材料には細心の注意を払い、IRランプとしては高純度の合成石英を使用しています。
なぜ石英なのか？ 通常のガラスは高温になると問題が発生します。安定しているべき時にガスが放出されたり、粒子が飛び散ったりします。一方、高純度の石英はそうではありません。極端な高温に耐えられ、不純物が環境中に漏れ出ることもありません。
これらのランプは短波長のIR放射を利用してエネルギーを直接ウェハーに伝えます。最良な点は、作業のために部屋全体を加熱する必要がないことです。これにより、部屋の温度が安定し、全員の作業が容易になります。
ノイズの排除 通常、故障の原因となる要素をすべて排除しました。接着剤も使わず、有害なVOCを放出する安価なシーラントも使用しません。代わりに、密封された融合石英製のケースを使用しています。これにより、ランプが古くなっても、温度が安定した状態を維持できます。
また、配線に関しても、緩んだ接続は微小な火花を引き起こし、それが金属粉を生み出します。これはクリーンルームにとって好ましくありません。そのため、厳格な精度のコネクタを使用し、一切の問題が起きないようにしています。
トレードオフ 高純度の石英は大量の熱を発生させます。急激に温度を上げるのには適していますが、冷却装置に大きな負担がかかります。ヒートシンクが十分な電力を処理できるかを確認する必要があります。十分な空気の流れがなければ、センサーアレイが過熱し、コントローラーに温度変動が生じる可能性があります。バランスを取る必要があります。
しかし、うまく調整できれば、とても簡単です。これらは交換可能な設計になっているので、交換して接続すれば、すぐに生産ラインを再開できます。