クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、加熱処理が大きな課題となります。問題は温度そのものではなく、目に見えない微粒子です。 一般的なIRランプは、この点で問題があります。これらのランプからは、端の部分から微細な金属片が放出されます。もしそうした金属片がウェーハや光学コーティ...

シャードの発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産の半導体工場において、ランプが破損するというのは単なる「稼働停止」という問題にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英管が破損すると、ガラスの破片やハロゲンガスが至る所に飛び散ります。一度破損すれば、作成されたウ...

300mmウェハを扱う際には、焼成プロファイルが不安定になるのを感じることができます。線幅が不安定になり、現像後には汚れが見られるようになります。ホットゾーンが設定値と戦っていると、フォトレジストの使用量が増え、結果として歩留まりが低下します。私たちは、そのような状況を未然に防ぐために、赤外線シス...