ウェーハの乾燥時間を推測するのはやめましょう。IRが最適な解決策です。
MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるとき、湿気という危険な要素と格闘していることになります。少しでも間違えると、表面張力によって微細な構造がくっついてしまいます。これを「スティクション」と呼び、高い歩留まりを維持しようとする人々にとっては大きな問題です。
スマートファブを構築するなら、古い手法に頼るわけにはいきません。正確に制御できる熱源が必要です。
熱をプログラム可能にする
従来の対流式オーブンの問題点は、反応が遅いことです。加熱に時間がかかり、冷却にも長時間を要します。正確なデータを得るのは、舵が壊れた船を操縦するようなものです。
だからこそ、私たちは赤外線を利用しています。
赤外線は、熱をオン/オフで制御できる手段です。即座に加熱が可能です。出力を精密に調整できるため、加熱プロセスはコード内の変数として扱えます。出力をPLCに直接接続できるため、すべてのウェーハに同じ条件で処理を行うことができます。予測可能で、再現性もあります。また、他のデジタルシステムとも連携できます。
短波赤外線の魔法
MEMSの場合、短波赤外線を使用します。なぜでしょうか？それは、効率的に作用するからです。表面に当たると、数秒で水分を除去します。ウェーハが加熱されていることに気づく前に、水はすでになくなっています。つまり、構造が崩れる時間がないのです。
ただし、注意が必要です。高いワット密度は装置のサイズを小さくするのには役立ちますが、多くの廃熱が発生します。高功率のアレイを使用する場合は、チャassisの冷却に十分注意しなければなりません。そうしないと、制御回路が破損してしまいます。
なぜこれが旧来の方法より優れているのか
多くの人々は、空気を加熱して部品が温まるのを待つという方法に慣れています。しかし、それは時間の無駄です。赤外線は中継者を省き、直接ウェーハを加熱します。
速度も速く、クリーンルームがサウナ状態になることもありません。さらに、赤外線センサーを使ったフィードバックシステムを導入すれば、もはや推測する必要はありません。実際の表面温度をリアルタイムで確認し、出力を即座に調整できます。
もはや単に「サイクルを実行する」だけではありません。プロセスの物理的な特性を実際に制御できるのです。