クリーンルーム内のベンチで熱を無駄にしないようにしましょう。
シリコンウェーハを加熱する経験がある人なら、その苦労はご存知でしょう。赤外線ランプに電力を供給しているにもかかわらず、そのエネルギーの大部分が無駄に消えてしまいます。
一般的なランプは、エネルギーをあらゆる方向に放出します。適切な反射板がない場合、エネルギーの約半分がベンチの筐体を温めるだけで、ウェーハには届きません。これはエネルギーの無駄であり、冷却システムにとっても負担となります。
だからこそ、私たちは金メッキされた反射板を使用するのです。
なぜ金なのか？
聞こえは豪華ですが、実際には物理的な理由によるものです。金は赤外線を効果的に反射する能力があります。アルミニウムも安価な代替材ですが、高温になるとその機能を発揮できません。
金メッキされた反射板は、石英管から出る逆方向の光をすべてキャッチし、再びウェーハの方に向けて送り返します。これにより、散乱していた光が集中したビームに変わります。必要な場所に的確に熱を届けることができ、出力を上げたり、装置に負担をかけたりする必要がありません。
適切な熱密度の実現
目的は、迅速に温度を上げることです。10分後ではなく、今すぐウェーハを所定の温度にしたいのです。
この金メッキされた反射板を使えば、電力の1ワットすべてが有効に機能します。効率的で、速いのです。また、効果が高いため、全体の加熱装置も小型でコンパクトになります。
しかし、注意点もあります。金は少しデリケートです。汚染を嫌います。もしクリーンルームの管理が不十分で、油や化学物質が反射板に付着してしまうと、反射率が低下します。その結果、熱がウェーハに均等に当たらなくなります。これが、反射板を点検する必要がある最初のサインです。
設置時のヒント
これらは簡単に取り付けられるように設計されています。既存のベンチにそのまま取り替えることができ、Z軸の高さを再調整する手間もありません。
配線については、電源の電圧をランプの電圧に正確に合わせることが重要です。汚れた反射板を補うために、ランプに過剰な電圧をかけようとする人もいますが、それは避けてください。そうすると、フィラメントが早く壊れてしまいます。金メッキ面を清潔に保てば、熱も安定して供給されます。