機器の内壁を加熱するのはやめましょう
半導体クリーンルームでは、間違った部分に熱を与えることは大変な問題です。
対流式のヒーターや一般的な赤外線ヒーターを使っている場合、熱がどこにでも漏れ出してしまうという問題があります。突然、機器の内壁が非常に高温になり、作業員が火傷を負ったり、敏感な部品が熱膨張の影響で破損したりします。これは非常に厄介で、危険な状況です。
私たちは、方向性のある赤外線を利用してこの問題を解決します。
重要なのは、熱がどのように移動するかという点です。
まるで懐中電灯のように考えてみてください。対流式のヒーターは空気を温めるだけですが、赤外線ランプは直線的に放射光を送り出します。このランプをウェハーや基板に直接当てることで、材料がそのエネルギーを吸収します。その結果、周囲の空気や金属製のケースは冷たいままです。つまり、触っても安全な状態で、効率的に加熱できるのです。
狭いスペースでも強力な加熱が可能
機器のサイズを小さく保つために、短波長の赤外線エミッターを使用します。これにより、少ないスペースで大量のエネルギーを供給できます。速いです。本当に速いです。数秒で目標の温度に到達できます。
ただし、注意点もあります。高出力の場合、状況は厳しくなります。反射板に傷があったり、わずかにずれているだけで、壁面に「ホットスポット」ができてしまいます。だからこそ、金やアルミニウム製の反射板の表面を丁寧に磨く必要があるのです。ビームを正確に制御する必要があります。
全員の作業を楽にする
熱の無駄遣いがなくなれば、クリーンルームのHVACシステムもそれほど頑張らなくて済みます。
私たちが開発したこのシステムは、古くて不便なヒーターの代わりに簡単に取り付けられます。PIDコントローラーに接続するだけで、精度の高い温度制御が可能になります。
もう「熱い壁」による事故は起こりません。作業員も安心して機械の近くにいられます。また、環境の影響で起こる不要な温度アラームもなくなります。本当に効果的です。