用于晶圆的精密红外传感器

防止碎片飞溅：在红外灯出现故障时保护晶圆免受损害 在大型半导体制造厂中，红外灯的故障可不是简单的“停机问题”，而是一场噩梦。当石英管破裂时，玻璃碎片和卤素气体会四处飞溅。一旦发生这种情况，整批晶圆就报废了。我们花了大量时间研究如何避免这种情况发生，重点关注的是灯泡的构造及其材料。 将碎片限制在内部...