300毫米晶圆红外均匀加热
在300毫米晶圆加工过程中,一旦烘烤过程的参数出现偏差,就能立刻察觉到。此时,晶圆的线条宽度会变得不稳定,显影后还会出现杂质。当加热区域与设定温度发生冲突时,就会导致光刻胶的浪费,进而影响产品的良率。我们设计的红外加热系统就是为了在问题出现之前就加以解决。
从技术角度来看,什么才是最重要的? 短波...
中波石英加热管
在芯片制造过程中,光刻胶烘烤过程中的温度偏差只要达到0.5℃,就会导致产品报废。由于晶圆移动速度很快,因此加热装置必须能够保持稳定的温度,确保每批晶圆都能在相同的温度条件下被处理。如果加热装置无法做到这一点,就会导致产量下降、返工增加,还会造成不必要的停机时间。
从技术层面来看,什么是最重要的?...
深紫外线光刻胶固化灯
在芯片制造过程中,光刻胶的烘烤过程并非简单的“暂停”环节,而是一个不可或缺的控制步骤。无论是在软烘还是硬烘过程中,1°C的温度波动都可能导致关键尺寸出现偏差,进而使线条边缘变得不平滑。因此,我们特意设计了深层紫外线光刻胶烘烤灯,确保其能够将温度控制在工艺所需的范围内——而非仅取决于设备本身的特性。...
智能电暖器
户外取暖市场产品琳琅满目,但事实上,并非所有的电暖器都质量相同。当你需要取暖时——无论是用于露台、车间还是商业场所——如果使用质量低劣的暖器,那只会让你陷入寒冷之中。这类暖器无法提供均匀的热量,还会持续运转,甚至可能带来安全隐患。因此,我总是建议人们选择那些拥有CE认证的红外电暖器。因为这表明该产...
RTP系统用卤素灯
在制造车间里,您也知道:在光刻胶烘烤过程中,哪怕只有0.5°C的温度变化,都可能使关键尺寸发生纳米级的偏差,从而导致整批产品报废。RTP并不仅仅是关于热量控制的问题,它更关乎能够实现可重复的、精确的晶圆级温度控制,同时不会对无尘室环境造成干扰。
至关重要的因素 我们设计的这些卤素灯采用了短波红外线...
用于IC的紧凑型红外干燥器
在芯片制造过程中,哪怕温度仅有半度的变化,都可能影响到芯片的关键尺寸,进而影响产品的良率。传统的加热方式难以消除这种温度波动带来的影响,而这种不确定性会在生产线上表现出来。我们研发了一种紧凑型的红外干燥器,用于IC加工,从而消除这些波动因素。
红外加热:亚毫米级的均匀性与重复性 该设备利用接近红外...
最小的电热器
户外夜晚的舒适度,取决于能否获得稳定的热量供应。使用红外线庭院加热器的话,热量可以迅速传递出来,但这种舒适感只有在电路连接良好时才能实现。这些设备需要长时间暴露在风雨和温度变化极大的环境中,而最容易出问题的地方就是电源线与加热器相连的位置。如果密封性能不佳,就会导致电阻上升、连接松动,进而增加短路...
OLED制造用干燥灯
在OLED制造过程中,OLED光刻技术几乎无法容忍任何温度波动。如果烘烤过程中的温度偏差达到±0.5°C,就会导致光刻胶的均匀性下降,同时还会影响蚀刻效果。因此,需要一种能够保持恒定温度的干燥灯,而不是那种会随时间而变化的灯具。
我们采用了什么解决方案,以及为什么这样设计 我们将OLED干燥灯置于...
地下室电暖器
你知道地下室里的空气是怎样的吧——一旦你走进去,仿佛就有股力量在试图夺走你的体温。强制通风系统在地下室里根本无用武之地,它只会制造出风声和噪音,却无法真正加热空间。真正有效的办法是让热量直接作用于人和物体表面,这样就能把寒冷的角落变成一个令人舒适的空间。
技术要点 我们设计的这些地下室电暖器采用了...
红外线庭院暖风机
太阳渐渐西沉,空气中弥漫着寒冷的气息。不久之后,原本期待中的惬意户外夜晚似乎变得不太可能实现了。传统的加热器只能产生热空气,这些热空气很快就会上升并散去,结果还是让人处于寒冷中。真正的问题在于:如何在不浪费能源的情况下,让所有人都能感到舒适。
从技术层面来看,什么才是最重要的? 红外线庭院加热器的...
半导体器件特性测试用加热器
在芯片制造过程中,如果在对晶圆进行特性测试时温度出现波动,那么就会破坏现有的产量预测模型,同时也会缩小工艺操作的窗口。哪怕温度只有半度的偏差,都可能掩盖掉芯片的性能极限。而试图通过反复烘烤来纠正这种偏差,只会浪费光刻胶,并消耗更多时间。因此,需要的是一种能像节拍器一样精准控制温度的加热器,而不是靠...
翻片键合加热灯
在翻片式焊接过程中,一旦温度分布出现异常,整个焊接过程就会失败。芯片阵列中会出现冷点,随后填充物也会出现缺陷。这样一来,产品的合格率就会下降,需要大量的返工工作,进而导致生产进度延迟。我们设计了这种加热装置,就是为了消除这一不确定性。
关键所在 该系统采用近红外灯模块,配合石英光学元件,能够快速、...
办公桌用取暖器
拥有透明玻璃屋顶的阳光房确实很美妙——但一旦遇到寒冷天气,情况就变了。热量会透过玻璃散失,导致室内通风不良,温度难以控制。传统的强制空气循环系统无法解决这个问题,因为玻璃会不断吸收热量,使得加热器不得不频繁启停。这样一来,室内的温度就无法保持稳定,而且能耗也会随之上升。
从技术角度来说,什么才是关...
半导体实验室烘箱灯
在光刻过程中,烤箱温度的波动不会通过警示灯来显示出来。这种波动会体现在曝光后关键尺寸的变化上,或者表现为光刻胶表面的不均匀性,又或者会导致良率下降,而要解决这些问题需要花费数天的时间。在晶圆干燥、软烘烤和硬烘烤过程中,热处理条件是固定不变的。
我们设计的半导体实验室用烤箱采用了短波红外线技术,因为...
模块化红外加热阵列
在晶圆厂车间,光刻胶烘烤不是可选项,而是一项热工承诺。晶圆上仅1.5°C的温度漂移,就足以将关键线宽变形,导致良率下降。我们设计了模块化红外加热阵列,以适应这一现实,提供可重复、可测量的温度控制,因为这是工艺的基本要求。
技术重点
该加热阵列采用近红外发射器,采用模块化布局,能够根据工艺窗口匹配加...