더 이상 웨이퍼의 건조 시간을 추측하지 마세요: 왜 적외선이 최선의 방법인가요? MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 수분과의 전쟁을 치르는 셈입니다. 조금만 실수해도 표면 장력으로 인해 그 미세한 구조들이 서로 붙어버릴 수 있습니다. 이를 ‘스틱션’이라고 하며, 높은...

공장 내에서의 오염 문제로 걱정할 필요는 없습니다. 클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 오류가 있을 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 먼지 조각이나 저품질의 가열 요소에서 나오는 가스만으로도 실리콘 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황이죠. 그래서 우리...

팹 현장에서, 슬러리에서 나온 포스트CMP 웨이퍼에는 여전히 패턴 부분에 미세한 물방울들이 남아 있습니다. 이런 상태의 웨이퍼는 사실상 언제든지 문제가 발생할 수 있는 상태입니다. 물자국, 재침적 현상, 패턴 붕괴와 같은 문제들은 리소그래피나 에칭 공정을 거칠 때쯤에...

OLED 리소그래피에서는 열 변동에 대한 여지가 전혀 없습니다. 단 0.5°C만큼의 오차가 생겨도 CD의 균일성이 손상되고, 에칭 과정에서 문제가 발생할 수 있습니다. 따라서 일정한 온도를 유지할 수 있는 건조 램프가 필요합니다. 우리가 만든 것과 그 이유 우리는...

라인에서 시간은 제안 사항이 아니라 경계선이다. 스핀 코팅 후, 웨이퍼는 얇은 포토레지스트 필름을 가진 상태로 노출 전에 컨디셔닝 및 건조가 필요하다. 소프트 베이크가 엄격하지 않으면 레지스트 프로파일이 변동한다. 노출 후 하드 베이크가 균일하지 않으면 식각 허용 오...