Out on the line, a fab heater’s thermal profile is only as solid as the power feeding it. A voltage dip, a loose termination, or a cable whose...

Role 당사 공정 현장에서 열 드리프트는 경고 라벨로 나타나지 않는다. 생산 수율 하락, 모니터상의 입자 급증, 혹은 포토레지스트 프로필이 교대별로 점차 변하는 현상으로 확인된다. 웨이퍼 건조, 포토레지스트 소프트 베이크 및 하드 베이크, 패키징 경화 공정에서 온도...