공장 내의 온도를 효과적으로 관리하는 방법 반도체를 생산할 때는 아주 미세한 온도 차이도 큰 문제가 됩니다. 온도가 조금만 잘못되어도 문제가 생깁니다. 그래서 우리는 구식의 저항식 가열 시스템을 버리고 디지털 IR 건조기 제어장치를 사용하고 있습니다. 이는 결국 에너...

제조 공정에서는 단 0.5도라는 미세한 온도 변화만으로도 치명적인 문제가 발생할 수 있습니다. 기존의 가열 장비들은 열 전달의 지연이나 가장자리 부분의 온도 변화를 해결하지 못해, 그로 인해 제품 품질에 영향을 미칩니다. 우리는 이러한 변수들을 없애기 위해 IC 처리...

Role 당사 공정 현장에서 열 드리프트는 경고 라벨로 나타나지 않는다. 생산 수율 하락, 모니터상의 입자 급증, 혹은 포토레지스트 프로필이 교대별로 점차 변하는 현상으로 확인된다. 웨이퍼 건조, 포토레지스트 소프트 베이크 및 하드 베이크, 패키징 경화 공정에서 온도...