300mm 웨이퍼용 균일한 열 처리 IR
300mm 웨이퍼를 처리할 때는, 베이킹 과정에서 온도가 일정하지 않아지는 것을 느낄 수 있습니다. 선의 굵기도 변하고, 현상 과정 후에는 이물질이 생기기도 합니다. 히트 존의 온도가 설정된 값과 맞지 않으면, 포토레지스트의 품질이 저하되고, 그 결과 생산성도 떨어집...
중파 석영 히터 튜브
제조 현장에서는 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 0.5°C의 온도 변동도 결코 무시할 수 없습니다. 그런 실수는 웨이퍼가 폐기되는 결과를 초래합니다. 웨이퍼들은 매우 빠르게 이동하기 때문에, 히터는 매번 일정한 온도를 유지해야 합니다. 만약 히터가 이를 제대로 수행...
심부 자외선(DUV) 레지스트 건조 램프
팹 내에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 ‘일시 정지’가 아닙니다. 이는 반드시 준수해야 하는 중요한 제어 지점입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만의 온도 변화라도 발생하면, 치명적인 수치들이 왜곡되고, 회로선의 가장자리가 거칠어집니다. 저...
스마트 전기 히터
실외 난방 시장은 매우 치열합니다. 사실, 모든 전기 히터가 동일한 방식으로 만들어지는 것은 아닙니다. 파티오나 작업장, 상업 공간 등에서 따뜻함이 필요할 때, 품질이 떨어지는 히터를 사용하면 실제로 추위에 떨게 됩니다. 그런 히터는 고르지 않은 온도를 제공하고, 계...
RTP 시스템용 할로겐 램프
생산 현장에서는 알다시피, 포토레지스트를 굽는 과정에서 0.5°C만의 온도 변화라도 있으면 치명적인 오차가 발생하여 전체 제품이 폐기될 수 있습니다. RTP는 단순히 열을 가하는 것이 아니라, 클린룸의 환경에 방해되지 않으면서도 일관된 웨이퍼 수준의 온도 제어가 가능...
IC용 컴팩트형 적외선 건조기
제조 공정에서는 단 0.5도라는 미세한 온도 변화만으로도 치명적인 문제가 발생할 수 있습니다. 기존의 가열 장비들은 열 전달의 지연이나 가장자리 부분의 온도 변화를 해결하지 못해, 그로 인해 제품 품질에 영향을 미칩니다. 우리는 이러한 변수들을 없애기 위해 IC 처리...
가장 작은 전기 히터
야외에서의 저녁 시간은, 신뢰할 수 있는 난방 성능에 따라 그 편안함이 결정됩니다. 적외선 파티오 히터의 경우, 따뜻한 공기가 빠르게 전달되지만, 이러한 편안함은 전선이 제대로 작동할 때만 유지됩니다. 이러한 히터들은 비나 바람, 극심한 온도 변화와 같은 야외 환경에...
OLED 제조용 건조 램프
OLED 리소그래피에서는 열 변동에 대한 여지가 전혀 없습니다. 단 0.5°C만큼의 오차가 생겨도 CD의 균일성이 손상되고, 에칭 과정에서 문제가 발생할 수 있습니다. 따라서 일정한 온도를 유지할 수 있는 건조 램프가 필요합니다.
우리가 만든 것과 그 이유 우리는...
지하실용 전기 히터
지하실의 공기가 어떤 느낌인지 아시죠? 계단을 내려서자마자 따뜻함이 사라져버리는 것 같은 느낌입니다. 강제환기 시스템으로는 그런 상황에서 효과적으로 난방할 수 없습니다. 바람과 소음만 발생할 뿐, 실제로 난방되는 곳은 없습니다. 효과적인 방법은 열을 사람과 물체에 직...
적외선 파티오 히터
해가 지고, 차가운 공기가 느껴집니다. 곧이어, 밖에서 편안한 저녁 시간을 보낼 수 있을 것 같다는 기대감도 사라집니다. 전통적인 난방기들은 뜨거운 공기를 내보내지만, 그 공기는 금방 사라져버리고, 결국 우리는 추위 속에 서 있게 됩니다. 진짜 문제는 에너지를 낭비하...
반도체 소자 특성 분석용 히터
팹에서 웨이퍼 특성 분석을 진행할 때 온도의 변동은 수율 예측 모델을 망가뜨리고 공정 범위를 줄여버립니다. 0.5도 정도의 온도 변동만으로도 장치의 한계가 숨겨질 수 있으며, 이를 해결하기 위해 반복적인 가열을 하면 포토레지스트가 손상되고 시간도 낭비됩니다. 필요한...
플립 칩 본딩 히터 램프
플립칩 본딩 공정에서는 열 분포에 변동이 생기는 순간 공정이 원활하게 진행되지 않습니다. 배열 내에 냉점이 생기고, 그로 인해 언더필 부분에 공극이 생깁니다. 이로 인해 생산 효율이 떨어지고, 재작업이 증가하며, 일정도 지연됩니다. 저희는 이러한 문제들을 해결하기 위...
사무용 책상 히터
유리 지붕 아래에 있는 선룸은 정말 멋지지만, 첫번째 추위가 찾아오면 상황이 달라집니다. 열기는 유리를 통해 밖으로 빠져나가기 때문에 공간 내부가 차가워지고 온도 조절도 어려워집니다. 일반적인 강제 순환식 난방 시스템으로는 이러한 문제를 해결할 수 없습니다. 유리가...
반도체 실험실용 오븐 램프
오븐의 온도 변동은 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신, 노출 후에 중요한 치수값이 변하거나, 포토레지스트 프로파일에 이상이 생기거나, 수일이 걸려서야 문제가 발견됩니다. 웨이퍼 건조나 소프트 베이크, 하드 베이크 과정에서는 열 관리가 매우 중요합니다.
저희는 반도체...
모듈식 적외선 난방 배열
공정 현장에서 포토레지스트 베이크는 선택 사항이 아니라 열적 조건이다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 1.5°C의 온도 편차만으로도 중요한 선폭이 변형되어 수율 저하로 이어질 수 있다. Modular Infrared Heating Array는 이러한 현실에 대응하기 위해 개발되...