電池セパレーターフィルム乾燥製造施設

ファブフロアでは、温度ドリフトが警告ラベルで示されることはない。ライン歩留まりの低下、モニター上の粒子スパイク、あるいはフォトレジストのプロファイルがシフトごとに徐々に変動し始めることで初めて気づくものである。ウェハー乾燥、フォトレジストのソフトベークおよびハードベーク、パッケージングの硬化におい...