MEMS传感器晶圆烘干加热器

别再猜测晶圆的干燥时间了：为什么红外技术才是最佳选择 在干燥MEMS传感器晶圆时，其实是在与水分进行一场危险的较量。一旦处理不当，表面张力就会让那些极其微小的结构粘在一起。我们把这种现象称为“粘附现象”，这对于那些希望保持高成品率的人来说无疑是个噩梦。 如果你要建造一座先进的制造工厂，就不能依赖传...