300毫米晶圆红外均匀加热

在300毫米晶圆加工过程中，一旦烘烤过程的参数出现偏差，就能立刻察觉到。此时，晶圆的线条宽度会变得不稳定，显影后还会出现杂质。当加热区域与设定温度发生冲突时，就会导致光刻胶的浪费，进而影响产品的良率。我们设计的红外加热系统就是为了在问题出现之前就加以解决。 从技术角度来看，什么才是最重要的？ 短波...