Stop met het verhitten van uw apparatuur: een betere manier om wafers te verhitten
Hier ligt het probleem bij de verwerking van halfgeleiders: u moet de wafer opwarmen, maar u wilt niet dat de binnenkant van uw apparaat smelt tijdens dit proces.
De meeste standaardverwarmer verspreiden energie overal. Dat is onhandig. De overtollige warmte blijft op het chassi zitten, waardoor uw medewerkers kunnen verbranden en het apparaatscherm door de hitte kan gaan vervormen. Dit is geen goede manier om een laboratorium te runnen.
Het richten van de warmte
We lossen dit op door korte-golflengte-infraroodlampen te gebruiken. In plaats van afhankelijk te zijn van lucht om de warmte te verspreiden, maken infraroodlampen gebruik van straling.
Het trucje is om goudbeklede reflectoren of focale lenzen te gebruiken. Hierdoor kunnen we de warmte precies op het oppervlak van de wafer richten. Het is net alsof je een spotlicht gebruikt in plaats van een schijnwerper. De meeste energie gaat waar het moet zijn, en de binnenmuren blijven veel koeler.
Het vinden van het ideale punt
Afstand is hier cruciaal.
Als u de lamp te dicht plaatst, is de warmte intens, maar dan ontstaan er ‘ hete plekken’ in plaats van een gelijkmatige temperatuur. Maar als u hem te ver weg plaatst, verliest u alle efficiëntie. De energie verspreidt zich dan overal, en u verhit dan de hele ruimte in plaats van alleen de wafer.
U moet de brandpuntsafstand goed afstemmen op de grootte van de wafer. Het gaat om balans.
Het behouden van veiligheid
Het doel is dat het apparaat aan de buitenkant koel aanvoelt. Door de IR-bron te isoleren en deze richtingsgebonden optica te gebruiken, houden we de binnenmuren onder de ‘gevaarzone’ voor verbrandingen.
Maar onthoud: lampen met hoge vermogens worden erg heet aan de bron. Uw koelventilatoren of watercoölers moeten sterk genoeg zijn om het totale vermogen aan te kunnen. Als de koeling niet sterk genoeg is, zal de warmte uiteindelijk door de isolatie heen dringen, ongeacht hoe goed u de lampen hebt gericht.
En nog een tip: gebruik kabels die bestand zijn tegen hoge temperaturen. Niemand wil te maken krijgen met gesmolten isolatie bij de lampcontacten.