
Stop de brokstukken: houd je gewichten schoon wanneer de IR-lampen faillieten
In een halfgeleiderfabriek met hoge productiedichtheid is het exploderen van een lamp zeker geen klein probleem. Het is een nachtmerrie.
Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, spatten er glasscherven en halogengas overal heen. Eén explosie en al je gewichten zijn verkeerd. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen, door te kijken naar hoe de lampen zijn gemaakt en van welke materialen ze bestaan.
Het voorkomen van vuil
We vertrouwen op geen enkel enkel glaslaagje. In plaats daarvan gebruiken we een dubbele laagstructuur. De hoofdkwartslaag zorgt voor het opvangen van de hitte, maar we voegen ook een extra beschermende laag toe.
Denk erbij aan als een soort verzekering. Als het filament kapotgaat of de buis onder druk barst, blijven de brokstukken binnenin zitten. Je hoeft je geen zorgen te maken dat er glasscherven op je silicium terechtkomen.
Wat echt belangrijk is
We gebruiken synthetisch kwarts van hoge zuiverheid, want goedkoop kwarts bevat onzuiverheden die bij hoge temperaturen gas vormen. Dit zorgt voor een vervuiling op de gewichten.
We letten ook goed op de vermogensdichtheid. Er mogen geen lokale hittepunten zijn.
Een tip: probeer de lamp niet ‘overbelastingen’. Het is verleidelijk om de spanning op te voeren om sneller de gewenste temperatuur te bereiken, maar dit beschadigt de lamp. Het verkort de levensduur en vergroot de kans op een explosie. Zorg ervoor dat de stroomvoorziening precies past bij de impedantie van de lamp.
Het goed doen in de fabriek
De verbindingen moeten stevig zijn. We gebruiken gestandaardiseerde connectoren, want losse verbindingen veroorzaken vuurstenen. Deze vuurstenen zorgen voor thermische spanningen aan de uiteinden van de lamp, waardoor deze vaak kapotgaan.
Wees voorzichtig tijdens de installatie. Houd je aan de regels van de schone ruimte. Zelfs één vingerafdruk op het kwarts kan al tot problemen leiden. Veeg de lampen eerst schoon met IPA voordat je ze installeert.
Nog één ding: let op de koeling. Als het systeem de uiteinden van de lamp niet onder de 200°C kan houden, gaan de seals kapot. En zodra de seals kapot zijn, gaat ook de buis kapot.