Stop met het verspillen van warmte: Waarom goudreflectoren belangrijk zijn
Wanneer je een wafer verwarmt, is het gemakkelijk om te denken dat meer vermogen betere resultaten oplevert. Maar hier is het punt: het maakt niet uit hoeveel energie je in de lamp stopt, als die energie nooit echt bij de wafer terechtkomt.
De meeste reflectoren zijn ‘lekkend’. Ze laten energie ontsnappen. We gebruiken goudcoateerde reflectoren om deze lekken te stoppen.
De energie op de juiste plek brengen
Denk eens na over hoe een verhittingselement werkt. Het stuurt energie in alle richtingen – 360 graden rondom. Zonder een goede reflector gaat de helft van het vermogen alleen maar worden gebruikt om de binnenkant van de machine op te warmen. Dat is zonde van geld en tijd.
Goud is uitstekend in het weerspiegelen van infraroodlicht. Door de behuizing met goud te bekleden, kunnen we die verspreide fotonen vangen en ze rechtstreeks terugkaatsen naar de wafer. Op deze manier kun je met veel minder energie de gewenste temperatuur bereiken. Het is gewoon efficiënter.
Het in de praktijk toepassen
We combineren deze goudcoatings met korte-golflengte infraroodbronnen. Korte-golflengte-energie is ideaal, omdat deze energie zich echt in het materiaal nestelt, in plaats van alleen op het oppervlak te blijven.
Wanneer je een hoge-dichtheids-halogeenbron combineert met een goudreflector, creëer je een geconcentreerde hittezone. Hierdoor kan het hele verhittingsapparaat kleiner worden, waardoor er minder ruimte nodig is.
Maar het grootste voordeel is de consistentie. Je krijgt een constante temperatuur over de hele wafer. In een wereld waarin een klein verschil van 2 graden al tot problemen kan leiden, is deze stabiliteit cruciaal. Het maakt het verschil tussen een perfecte productie en een berg afval.
Het nadeel (want er is altijd wel één)
Goud is inderdaad geweldig, maar het is niet onsterfelijk. Het is gevoelig. Als je proces corrosieve gassen gebruikt of veel stof en deeltjes bevat, kan de goudlaag beschadigen of verkleuren. Zodra het oppervlak vuil wordt, neemt de reflectiviteit af. Dan zie je dat de verwerkingstijden beginnen te variëren. Dan is het tijd om het apparaat schoon te maken. Je moet continu goed opletten wat er gebeurt met het apparaat.
Nog een tip: gebruik een precisie-PID-regelaar. Omdat de hitte zo geconcentreerd is, stijgt de temperatuur erg snel. Als je regelsysteem traag is, riskeer je dat de temperatuur te hoog wordt en het materiaal schade oploopt. Je wilt een systeem dat kan bijhouden wat er met de hitte gebeurt.