Di bilik pengeluaran semikonduktor, perubahan suhu semasa proses penilaian ciri-ciri wafer boleh merosakkan model pengiraan hasil pengeluaran dan memendekkan jangka masa yang diperlukan untuk proses tersebut. Perubahan suhu sebanyak setengah darjah saja sudah cukup untuk menyembunyikan batasan peranti tersebut. Usaha untuk mengatasi masalah ini dengan melakukan proses pembakaran berulang hanya akan membazirkan bahan kimia yang digunakan serta membuang masa. Apa yang diperlukan ialah pemanas yang mampu mengekalkan suhu pada tahap yang ditetapkan dengan tepat, bukan sekadar anggaran semata-mata.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Pemanas yang digunakan untuk menilai ciri-ciri semikonduktor ini mampu mengekalkan keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C di seluruh kawasan pengukuran. Repeatabiliti antara setiap kali proses dilakukan pula adalah pada tahap ±0.05°C. Reka bentuk termalnya memastikan berat pemanas tetap rendah, dan prosesnya berlangsung dalam mod “losed-loop”, sehingga suhu dapat dikawal dengan baik tanpa menggunakan terlalu banyak tenaga. Pemanas ini sesuai digunakan di bilik bersih dari tahap Class 1 hingga Class 100. Bahan-bahan yang digunakan serta cara penyusunan komponen pemanas memastikan tiada peningkatan jumlah zarah semasa operasi. Dalam ujian kelayakan, pemanas ini telah beroperasi 24/7 tanpa sebarang gangguan, dan profil suhunya kekal stabil sepanjang proses pembakaran, baik semasa proses lithografi mahupun selepasnya.
Inilah sebabnya mengapa pemanas ini berkesan dalam praktiknya. Anda dapat mengawal proses pengeluaran dengan lebih baik, kerana parameter seperti ketebalan lapisan fotoresist tetap konsisten. Anda juga tidak perlu lagi mencari punca perubahan suhu yang berlaku. Memandangkan pemanas ini mempunyai inersia termal yang rendah, masa yang diperlukan untuk proses pengeluaran menjadi lebih singkat, dan penggunaan tenaga juga berkurangan.
Pemanas ini mudah disambungkan ke peralatan penilaian standard, jadi anda boleh menggantikannya tanpa perlu mengubah tetapan peralatan tersebut. Kelebihannya adalah adanya lebih sedikit percubaan yang perlu dilakukan, pola pengedaran hasil pengeluaran yang lebih baik, serta data kualiti yang stabil merentas pelbagai jenis produk.
Beberapa perkara yang perlu diambil kira sebelum menggunakannya:
Pemasangan pemanas ini memerlukan bekalan kuasa yang khusus dan sistem pengisi daya yang efektif, serta sistem penggrounding yang baik untuk mengelakkan gangguan EMI pada alat pengukur yang sensitif. Pemanas ini dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat, jadi anda perlu menyesuaikan tetapan PID agar sesuai dengan massa wafer. Pemanas ini direka untuk memenuhi standard peralatan semikonduktor antarabangsa, tetapi masih perlu memastikan dimensi dan sambungan pinnya sesuai dengan platform khusus yang digunakan sebelum digunakan untuk pertama kalinya.