Komponen pemanas untuk bahan penahan sinar UV ekstrem (EUV)
Pemanasan menggunakan gelombang UV ekstrem: Kebenaran teknikal yang sebenar
Kita membina pemanas jenis EUV ini untuk bersaing dengan jenama-jenama...
Lampu untuk proses pembakaran bahan penolak cahaya UV yang berkuasa tinggi (Deep UV/DUV)
Di bilik pemprosesan, proses pemanasan bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan. Ia merupakan titik kawalan yang tidak boleh...