왜 우리가 탄소섬유 적외선 가열 방식으로 전환하는가?
솔직히 말해서, 기존의 대류식 오븐이나 용매를 사용한 건조 방식은 정말 성가신 방법입니다. 처리 속도가 느리고, 엉망이 되기 쉽으며, 더 이상 공장에서 사용되고 싶지 않은 화학물질들이 필요합니다.
그래서 우리는 탄소섬유 적외선 램프를 사용하게 되었습니다. 이 방식은 훨씬 더 깨끗한 작업 방식입니다. 유해한 촉매제도 없고, 유해한 연기도 나지 않으며, 탄소 배출량도 훨씬 줄어듭니다. 당연히 이 방식이 더 낫죠.
실제 작동 원리
일반적인 금속 필라멘트도 괜찮지만, 탄소섬유는 다릅니다. 탄소섬유는 높은 저항력을 가진 탄소 핵을 사용하여 중간에서 장파장 영역의 열을 방출합니다.
가장 좋은 점은, 열이 정확히 필요한 곳에만 가게 된다는 것입니다. 열이 포토레지스트나 접착제층에만 전달되고, 아래에 있는 실리콘 기판은 손상되지 않습니다. 이렇게 하면 굳이 뜨거운 공기를 곳곳에 뿌릴 필요가 없습니다.
에너지 절약 및 작업 효율 향상
무연 기준에 따라 작업할 때는 온도 조절이 매우 중요합니다. 조금만 실수해도 웨이퍼가 망가질 수 있습니다.
탄소섬유 램프는 목표 온도에 거의 즉시 도달하기 때문에 이 문제를 해결해줍니다. 먼저 큰 금속 덩어리를 가열할 필요가 없습니다.
또한, 전체 챔버의 공기를 가열하는 데 에너지가 낭비되지 않습니다. 오직 필요한 부분만 가열됩니다. 이로 인해 웨이퍼당 소모되는 에너지가 줄어들어, 비용 절감과 함께 지구 환경도 보호됩니다.
주의해야 할 점
물론 이것도 마법은 아닙니다. 여전히 전력 밀도를 신중하게 조절해야 합니다. 너무 많은 와트를 작은 공간에 집중시키면 과열이 발생할 수 있습니다. 컨베이어의 속도와 램프의 높이를 적절히 조절해야 합니다. 그렇지 않으면 기판의 가장자리가 타버릴 수 있습니다.
또한, 냉각팬도 주의해야 합니다. 냉각팬의 작동이 제대로 되지 않으면 공장 내의 온도가 상승하여 센서 경보가 울릴 수 있습니다.
우리는 이 램프들을 기존 설비에 그대로 대체할 수 있도록 설계했습니다. 이 램프들을 사용하면 건조 시간이 단축되고, VOC가 많은 용매도 필요 없어집니다. 이는 훨씬 빠르고 깨끗한 작업 방식입니다.