半導体拡散炉ランプ

ファブフロアでは、炉はブラックボックスではない。厳密に管理された熱境界である。ランプアレイの性能が低下し始めると、ウェハ上の温度分布がずれ、フォトレジストのプロファイルが変わり、酸化膜の厚さのばらつきが広がる。歩留まりは静かに、しかし確実に低下する。 拡散炉用ランプを作る理由は一つだけだ。プロセス...