جلوگیری از فاجعه ناشی از انفجار لامپ
هنگامی که در حال استفاده از لامپهای با توان بالا برای خشک کردن ویفرها هستید، انفجار لامپ صرفاً یک مشکل تعمیراتی نیست؛ بلکه یک فاجعه واقعی است.
در یک لحظه همه چیز درست است، اما لحظه بعد، تکههای کوارتز و رسوبات هالوژنی در سراسر ویفرها پخش میشوند. این امر منجر به اتلاف محصولات زیادی میشود و برای همه افراد مرتبط، مشکلات زیادی ایجاد میکند. به همین دلیل، ما منعکنها را صرفاً به عنوان ابزارهایی برای بازتاب تشعشعات مادون قرمز در نظر نمیگیریم؛ بلکه آنها را به عنوان خط دفاعی اول در نظر میگیریم.
کنترل آشفتگی
ما از ساختارهایی با شکل مناسب یا سپرهای محافظ برای محافظت از لامپ استفاده میکنیم. این سپرها در واقع نوعی تور محافظتی هستند. اگر پوشش کوارتزی لامپ به دلیل نوسانات توان یا شوک حرارتی خراب شود، منعکنها تکههای شکسته را جذب میکنند. در نتیجه، آشفتگیها در جای خود باقی میمانند و این امر از وقوع فاجعه جلوگیری میکند.
حفظ سرمای لامپ و افزایش عمر آن
ما از سطوحی با خلوص بالا از آلومینیوم یا طلا برای ساخت لامپها استفاده میکنیم. چرا؟ چون این سطوح در بازتاب تشعشعات مادون قرمز بسیار کارآمد هستند.
مزیت این روش این است که میتوانید لامپ را با توان کمتری راهاندازی کنید، اما همچنان دمای مورد نیاز بر روی ویفرها حاصل شود. وقتی لامپ مجبور نیست با توان زیاد کار کند، تحت فشار کمتری قرار میگیرد؛ در نتیجه، نیازی به تعویض لامپها به طور مداوم نیست.
همچنین، ما به محل نصب لامپ نیز توجه زیادی میکنیم. اگر لامپ کمی خم شود، نقاط گرمی ایجاد میشود؛ و این نقاط گرم در واقع نشانههایی از خرابی لامپ هستند. ما سعی میکنیم لامپ را در موقعیت مناسبی نگه داریم تا گرما به طور یکنواخت پخش شود.
معایب
البته، یک مشکل وجود دارد. استفاده از سپرهای محافظ یا منعکنهای عمیق، فضای بیشتری را در سیستم گرمایشی اشغال میکند؛ همچنین، این سپرها باعث ایجاد فضاهای خالی در اطراف لامپ میشوند. اگر فنهای مناسب برای خنک کردن لامپ وجود نداشته باشد، گرما در آنجا باقی میماند؛ در نتیجه، کانکتورهای لامپ اکسید شده و خراب میشوند. برای جلوگیری از این مشکل، ما همیشه استفاده از سیستم خنککننده القایی را توصیه میکنیم؛ این روش باعث میشود لامپ همواره سرد بماند و کل سیستم بدون مشکل کار کند.