دیگر نیازی نیست درباره زمان خشک شدن ویفرها حدس بزنید؛ چرا که استفاده از موجهای مادون قرمز راه بهتری است.
هنگام خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS، شما در حال بازی با رطوبت هستید؛ یک اشتباه کوچک میتواند باعث شود که ساختارهای ریز و حساس موجود روی سطح ویفر، به یکدیگر متصل شوند. ما این پدیده را «چسبندگی» مینامیم؛ این موضوع برای کسانی که سعی دارند بازدهی بالایی داشته باشند، یک فاجعه است.
اگر قصد ساخت یک کارخانه هوشمند را دارید، نمیتوانید به روشهای قدیمی تکیه کنید؛ شما به گرمای قابل کنترل نیاز دارید.
خلاقیت در استفاده از گرمای قابل کنترل
مشکل اجاقهای سنتی این است که سرعت گرم شدن آنها بسیار کم است؛ گرم شدن آنها زمان زیادی میبرد و خنک شدن آنها نیز همینطور. دریافت دادههای دقیق از این اجاقها، مانند کنترل یک کشتی با فرمان خراب، کار بسیار دشواری است.
به همین دلیل ما از موجهای مادون قرمز استفاده میکنیم.
موجهای مادون قرمز در واقع یک کلید روشن/خاموش برای گرما هستند؛ این روش بسیار سریع است. از آنجایی که میتوانید میزان توان را به طور دقیق کنترل کنید، فرآیند گرمایش تبدیل به یک متغیر در کد شما میشود. شما میتوانید خروجی این سیستم را مستقیماً به سیستم کنترل خود متصل کنید؛ در نتیجه، هر ویفر به طور یکسان گرم میشود. این روش قابل پیشبینی و تکرار است؛ همچنین با سایر سیستمهای دیجیتال شما نیز سازگار است.
جادوی موجهای کوتاه مادون قرمز
ما برای سنسورهای MEMS از موجهای کوتاه مادون قرمز استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون این روش مشکلاتی ایجاد نمیکند. این موجها به سطح ویفر برخورد کرده و رطوبت را در عرض چند ثانیه از بین میبرند. تا زمانی که ویفر متوجه گرم شدن شود، آب از بین رفته است؛ یعنی این موجها فرصتی برای ایجاد چسبندگی ندارند.
اما باید مراقب باشید؛ تراکم توان بالا میتواند به کاهش اندازه تجهیزات کمک کند، اما گرمای اضافی زیادی نیز تولید میشود. اگر از جعبههای توان بالا استفاده کنید، حتماً سیستم خنککننده آنها را نیز در نظر بگیرید؛ در غیر این صورت، سیستمهای کنترلی شما خراب خواهند شد.
چرا این روش بهتر از روش قدیمی است؟
بیشتر مردم عادت دارند هوا را گرم کنند و امیدوار باشند که قطعه مورد نظر گرم شود؛ این کار اتلاف وقت است. موجهای مادون قرمز این مرحله را حذف کرده و مستقیماً ویفر را گرم میکنند.
این روش سریعتر است؛ همچنین از تبدیل اتاقهای تمیز به سونا جلوگیری میکند. علاوه بر این، با استفاده از سیستمهای بازخورد، شما دیگر نیازی به حدس زدن ندارید؛ میتوانید دمای واقعی سطح را در زمان واقعی مشاهده کرده و میزان توان را به طور لحظهای تنظیم کنید.
شما دیگر فقط در حال اجرای یک چرخه نیستید؛ بلکه واقعاً فیزیک فرآیند را کنترل میکنید.