در خط تولید با قطر ۳۰۰ میلیمتر، میتوانید هنگامی که فرآیند پخت شروع به اختلال کند، این موضوع را حس کنید. عرض خطوط نیز تغییر میکند و پس از فرآیند توسعه، لایههای اضافی روی سطح وجود دارد. وقتی که منطقه گرم، در تضاد با دمای مورد نظر باشد، این امر باعث هدر رفتن مواد مورد استفاده در فرآیند تولید میشود؛ در نتیجه، کیفیت محصول کاهش مییابد. ما سیستم مادونقرمز خود را طوری طراحی کردهایم که از بروز چنین مشکلاتی جلوگیری کند.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارند؟ مجموعه پرتوافکنهای مادونقرمز کوتاهامواج، برای حفظ یکنواختی دمایی در سطح ویفر، تنظیم شدهاند؛ این یکنواختی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سراسر سطح ویفر حفظ میشود. پاسخ سریع سیستم، تأخیر حرارتی را کاهش میدهد؛ بنابراین دما دقیقاً مطابق با دستورالعملهای مشخص شده، تغییر میکند. منطقه گرم، سازگار با محیطهای استریل از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ است؛ همچنین در حالت پایدار، هیچ ذرهای تولید نمیشود. این سیستم، قابلیت کار ۲۴/۷ را فراهم میکند؛ همچنین، یکنواختی ابعاد ویفر در هر بار تولید حفظ میشود.
چرا این سیستم در فرآیند لیتوگرافی مفید است؟ در فرآیند لیتوگرافی، فرآیند پخت نرم، برای حذف حلالها و کنترل تنشهای روی لایههای نوری استفاده میشود؛ فرآیند پخت سخت نیز، تصویر را ثابت کرده و لایههای نوری را برای فرآیندهای اسیدکاری یا تزریق آماده میکند. با استفاده از گرمای یکنواخت مادونقرمز، رفتار لایههای شیشهای در سراسر ویفر یکنواخت باقی میماند. این امر باعث میشود که ابعاد حیاتی ویفر در هر بار تولید حفظ شود. در نتیجه، تعداد کارهای تکراری کاهش مییابد و مقدار مواد بیکاربرد نیز کمتر میشود.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد. سیستم تنها منطقه مورد نظر را گرم میکند و این کار به سرعت انجام میشود؛ بنابراین، مقدار انرژی مصرفی کنترل میشود.
جنبههای عملی: منطقه گرم، ابعاد کوچکی دارد و باید در چارچوب ماژولهای مربوط به پخت واقع شود. فاصله بین ویفر و منطقه گرم نیز کم است؛ همچنین، مسیر جریان هوا باید با سیستمهای موجود برای تخلیه هوا هماهنگ باشد.
راهاندازی سیستم نیز ساده است: کافی است توان لامپ، درصد انتشار نور و پارامترهای PID را برای لایههای نوری تنظیم کنید. پس از تنظیم، فرآیند تولید به طور مداوم تکرار خواهد شد. اما اگر شیمی لایههای نوری تغییر کند یا ضخامت لایهها افزایش یابد، لازم است دوباره سیستم را تنظیم کنید تا یکنواختی و عملکرد سیستم حفظ شود.