حفظ تمیزی: واقعیت مربوط به گرم کردن ویفرها
در دنیای نیمههادیها، حتی یک ذره کوچک از ضایعات میتواند فاجعهبار باشد. اگر در یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ کار میکنید، میدانید که چه اتفاقی میافتد؛ یک ذره کوچک از ضایعات میتواند کل محموله ویفرهای شما را نابود کند. به همین دلیل، ما از مواد با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ برای لامپهای مایکروویو، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم.
چرا کوارتز؟
شیشه معمولی در معرض گرما دچار مشکلات زیادی میشود؛ گازهایی تولید میکند و ذراتی را آزاد میکند، در حالی که باید ثابت بماند. اما کوارتز با خلوص بالا، در برابر گرمای شدید مقاومت میکند و هیچ آلایندهای را وارد محیط نمیکند.
این لامپها از تشعشعات مایکروویو برای انتقال انرژی به ویفرها استفاده میکنند. بهترین نکته این است که نیازی نیست کل اتاق را گرم کنید تا کار انجام شود؛ این کار باعث میشود دمای اتاق ثابت بماند و کار همه آسانتر شود.
حذف موانع
ما تمام چیزهایی که معمولاً باعث اختلال میشوند را حذف کردهایم؛ هیچ چسبی وجود ندارد، هیچ ماده چسبنده ارزانقیمتی نیز وجود ندارد که در اثر گرما تجزیه شده و آلایندههایی تولید کند. در عوض، از پوشش کوارتزی استفاده میکنیم؛ این پوشش، حرارت تولید شده توسط لامپ را کنترل میکند، حتی در صورت قدیمی شدن لامپ.
همچنین، در مورد سیمها نیز باید مراقب بود؛ اتصالات ضعیف منجر به ایجاد جرقههای کوچک میشود، و جرقهها نیز باعث تولید گرد و غبار فلزی میشوند؛ این موضوع برای اتاقهای تمیز خوب نیست. ما از اتصالات با دقت بالا استفاده میکنیم تا مشکلی پیش نیاید.
تعادل
نکته مهم این است که کوارتز با خلوص بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکند؛ این موضوع برای افزایش سریع دما خوب است، اما فشار زیادی بر سیستمهای خنککننده وارد میکند. باید مطمئن شوید که سیستمهای خنککننده میتوانند این مقدار گرما را تحمل کنند. اگر مقدار انرژی وارد شده بیش از حد باشد، سنسورها ممکن است دچار گرمازدگی شوند؛ این موضوع باعث اختلال در کنترلرها میشود. این یک تعادل دشوار است.
اما وقتی که همه چیز به درستی تنظیم شود، کار بسیار ساده خواهد بود؛ ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی جایگزین کرد؛ فقط کافی است آنها را جایگزین کنید و خط تولید دوباره شروع به کار کند.