Op de productieafdeling weet je hoe het werkt: een verschil van 0,5°C tijdens het drogen van de fotoresist kan ertoe leiden dat een cruciale dimensie enkele nanometers verandert. Dit kan er dan toe leiden dat een hele lading producten onbruikbaar wordt. RTP gaat niet alleen om hitte – het gaat ook om nauwkeurige controle van de temperatuur op het niveau van de wafer, zodat de condities in de cleanroom niet worden verstoord.
Wat belangrijk is onder het oppervlak We hebben deze halogeenlampen ontworpen met behulp van kortegolflengte-infraroodlicht en een kwartsomhulsel. Hierdoor is de reactietijd snel en is er minimale thermische vertraging. Er wordt een consistentie van ±0,1°C bereikt over de hele proceszone, wat precies nodig is om de temperatuur tijdens het drogen van de wafer nauwkeurig te beheersen. De lampen zijn geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100. De materialen en geometrie zijn zo gekozen dat er zo min mogelijk deeltjes ontstaan. De uitgangssterkte van de lampen blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in lumensterkte. Hierdoor kun je langdurige processen uitvoeren zonder elke twee weken opnieuw te kalibreren.
Waarom dit belangrijk is in lithografie en RTP De thermische eisen zijn hier zeer streng. Een grotere consistentie reduceert defecten aan de randen van de wafer, verbetert de controle over de CD-dimensies en vergroot de kans op succesvolle productie. Snellere temperatuurrampen verkorten de procestijd, zonder dat de pieksterkte te hoog wordt. Door het proces schoon en vrij van deeltjes te houden, wordt er minder afval geproduceerd en is er minder herwerk nodig. Bovendien zorgt de stabiele uitgangssterkte van de lampen voor reproduceerbare resultaten tussen verschillende ladingen producten. Omdat het systeem snel het gewenste temperatuurniveau bereikt en dit nauwkeurig behoudt, wordt er minder energie verspild aan thermische schommelingen.
Een paar tips voor de productieafdeling Om die consistentie van ±0,1°C te behouden, zijn matchende reflectoren en nauwkeurige focushierarchieën nodig. Het invoegen van deze componenten in bestaande RTP-apparaten is gemakkelijk, maar het kwartsomhulsel vereist zorgvuldige behandeling en een schone installatie. Kleine krassen op het omhulsel kunnen later leiden tot het ontstaan van deeltjes. Voordat je het systeem installeert, moet je eerst een korte test uitvoeren om de juiste instellingen vast te stellen.