Bij het gebruik van een oven in de halfgeleiderproductie, wordt een afwijking in de oventemperatuur niet weergegeven door een waarschuwingslamp. In plaats daarvan zie je deze afwijkingen terug in de dimensies van het fotolastprofiel, of in een lagere opbrengst die pas na dagen kan worden verholpen. Tijdens het drogen van de wafers wordt de thermische behandeling precies geregeld.
We hebben onze halfgeleiderlaboratoriumoven ontworpen met behulp van kortegolfige infraroodstraling. Hierdoor komt de energie rechtstreeks terecht in het fotolast en het substraat van de wafer, in plaats van dat de wanden van de oven worden verhit. Dit zorgt voor een snelle temperatuurstijging, nauwkeurige controle en consistente resultaten bij elke lading.
Wat belangrijk is onder de motorkap
We gebruiken kortegolfige infraroodbronnen met een snelle reactietijd en nauwkeurige spectraalkontrol. Hierdoor blijft de temperatuur over de hele wafel binnen ±0,1°C. De pieksterkte van de lamp wordt aangepast aan het volume van de oven en de luchtcirculatie, zodat de lamp op het gewenste niveau blijft zonder dat er sprake is van overdreven verhitting.
De kwartsomhulling en keramische componenten zorgen ervoor dat er nauwelijks deeltjes worden gegenereerd. Dit zorgt voor een schone omgeving, passend voor cleanrooms van klasse 1–100. De lamp kan 24/7 draaien, met een stabiele prestatie gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afwijking in de intensiteit.
Waarom dit werkt in de voorbereiding op lithografie
Tijdens de voorbereiding op lithografie bepaalt de zachte verhitting hoe snel de oplosmiddelen worden verwijderd. Als de temperatuur te laag is, blijven de oplosmiddelen achter in het materiaal. Als de temperatuur te hoog is, gaan de stoffen die het fotolast beschermen verdwijnen. Onze infraroodmethode zorgt er namelijk voor dat de wafel snel op temperatuur komt en deze temperatuur daarna behoudt. Hierdoor zijn de resultaten consistent tussen verschillende ladingen.
Voor de harde verhitting en het drogen van het materiaal zorgt de lamp voor een constante temperatuur, zodat de integriteit van het apparaat behouden blijft en de opbrengst hoog blijft. Ook wordt het energieverbruik verminderd, omdat de lamp het product rechtstreeks verwarmt, in plaats van de oven zelf.
Praktische details die je niet mag negeren
Bij de installatie moet de lamp goed worden afgestemd op de geometrie van de reflectoren in de oven en op het patroon van de luchtcirculatie. Als de alignering niet correct is, zal er variatie optreden tussen de verschillende delen van de wafel. Voordat je de lamp installeert, moet je controleren wat de spanning, connectors en thermische limieten van de oven zijn.
In omgevingen met hoge vochtigheid moet het raam van de lamp vrij blijven van condensvorming. Hiervoor kun je gebruikmaken van een afgesloten montage en een gecontroleerde luchtcirculatie. Plan ook regelmatig onderhoud in, zodat er geen onverwachte stilstand optreedt.