Bij de gebruik van OLED-lithografie is er nauwelijks ruimte voor thermische afwijkingen. Als de temperatuur zelfs maar ±0,5°C afwijkt van het gewenste niveau, leidt dit tot ongelijkmatigheden in de dikte van de fotoresist, en ook de vorm van de resistentoppervlakken verandert. Er is dus een droogingslamp nodig die een constante temperatuur behoudt, in plaats van een lamp die met de tijd afwijkt.
Wat we hebben gebouwd en waarom We hebben de OLED-droogingslamp geplaatst in een kwartsomhulsel, samen met halogeenemitters die kortegolfgolf-infraroodlicht uitstralen. Hierdoor wordt energie snel en rechtstreeks overgedragen naar de fotoresist, zonder dat het onderliggende substraat te veel opwarmt. De heaters zijn zo gepositioneerd dat de temperatuur over het hele waferbord binnen ±0,1°C blijft, en de herhalbaarheid ligt op 0,05°C per cyclus.
Het systeem is geschikt voor schone kamers van klasse 1–100. We hebben vastgesteld dat er geen deeltjes worden gegenereerd, dankzij in-situ monitoring. De controle vindt plaats in een gesloten circuit, met behulp van een gekalibreerde pyrometer en emissiviteitscompensatie, zodat de temperatuur op het oppervlak van de fotoresist wordt gemeten, en niet op de lamp zelf.
Waarom dit systeem werkt in OLED-fabrieken Tijdens de droogings- en verhardingsstappen van de fotoresist is de thermische controle zeer belangrijk. Als het te koud is, verdwijnen de oplosmiddelen niet goed. Als het te heet is, veroorzaken uitgasingen defecten die zich vervolgens in het patroon vertonen. Deze lamp zorgt er dus voor dat de temperatuur precies op het juiste niveau blijft, zodat de dikte van de fotoresist en de hoek van de wanden stabiel blijven.
De snelle temperatuurstijging verkortt de tijd die nodig is om de fotoresist te verharden. Hierdoor kan er meer geproduceerd worden, zonder dat de maximale temperatuur te hoog wordt. Het systeem is efficiënt: de hoge omzetting van elektrische energie in straling en de lage thermische massa zorgen voor minder energieverbruik en minder warmteafgifte in de schone kamer. De betrouwbaarheid van het systeem is enorm, want het kan 24/7 draaien, volgens gegevens die duizenden uren stabiele prestaties aantonen.
Wat je moet voorbereiden De lamp is compact, maar er is wel een speciale afvoer nodig en een sterke elektrische voeding om de prestaties stabiel te houden. Als je het systeem wilt integreren in bestaande systemen, moet je rekening houden met mechanische en controleinterfaces. Controleer eerst de connectoren, het montagemateriaal en de interfacing met het PLC.
Voer eerst een kort testproces uit om het optimalisatieprofiel vast te stellen – daarna kun je het systeem definitief instellen.