Bij het gebruik van flip-chip-bonding faalt het proces zodra er sprake is van afwijkingen in de thermische omstandigheden. Er ontstaan ‘koude plekken’ in het gebied waar de delen met elkaar worden verbonden, en dit leidt tot problemen. De productiekwaliteit neemt af, er moet veel gerepareerd worden en de planning loopt vast. We hebben een speciale lamp ontworpen om deze onzekerheden uit het proces te halen.
Wat belangrijk is onder het oppervlak
Het systeem maakt gebruik van infraroodlampen met kwartsoptica, zodat er snel en gericht warmte wordt toegepast op het gebied waar de delen met elkaar worden verbonden. Op deze manier blijft de uniformiteit over het hele gebied rond de ±0,1°C. De herhaalbaarheid per cyclus ligt rond de ±0,5°C. Het mogelijk om de temperatuur nauwkeurig te regelen; dit zorgt ervoor dat de thermische omstandigheden goed onder controle blijven. De lamp is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. De oppervlakken zijn zo verwerkt dat er geen deeltjes worden gegenereerd en er geen gasontwikkeling optreedt.
‘Geen deeltjes’ is hier geen slogan, maar een vereiste die voortkomt uit de keuze van materialen, de afsluiting van openingen en de controle van de luchtcirculatie.
Waarom het werkt in de praktijk
Bij flip-chip-bonding is het nodig dat er precies op de juiste plek en op het juiste moment warmte wordt toegepast, zodat andere delen niet worden verhit. De infraroodlamp verwarmt alleen de verbindingen tussen de delen, waardoor de omliggende delen koeler blijven. Dit vermindert het risico op vervorming en zorgt ervoor dat lage-k-dielectriken geen problemen gaan veroorzaken.
De hoge uniformiteit en herhaalbare resultaten zorgen voor consistente verbindingen en minder fouten. De lamp kan ook worden gebruikt in het proces van fotoresistverwerking – zowel voor zachte als harde behandelingen. Hierdoor blijven de belangrijke dimensies stabiel. Het resultaat? Minder fouten, een hogere productiekwaliteit en een constante productiefrequentie.
Wat je in de gaten moet houden
De lamp past gemakkelijk in standaardbondingsapparaten, maar de precisie van de alignment is belangrijk. Reken op ca. 12 uur voor het instellen van de lamp – inclusief beeldmapping, temperatuurkalibratie en validatie in de schone ruimte.
De uitgangssterkte van de lamp kan worden aangepast, maar de beste stabiliteit wordt bereikt wanneer de lamp tussen 40–80% van de nominale vermogen werkt. Als de lamp constant op maximaal vermogen werkt, verkort dit de levensduur van de lamp. Plan daarom op tijd vervangingen in en houd reservematerialen klaar, zodat de prestaties niet achterblijven.