クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、加熱処理が大きな課題となります。問題は温度そのものではなく、目に見えない微粒子です。
一般的なIRランプは、この点で問題があります。これらのランプからは、端の部分から微細な金属片が放出されます。もしそうした金属片がウェーハや光学コーティングの上に落ちてしまったら、多額の費用が無駄になってしまいます。
私たちは、高純度の石英管と特殊なセラミック製のエンドキャップを組み合わせることで、この問題を解決しました。以下がその仕組みです。
高純度石英の利点
私たちは合成された高純度石英を使用します。なぜなら、高い温度でも変質しないからです。もし通常のガラスを使って1000℃まで加熱した場合、ガラスは変形したり、揮発性有機化合物を放出したりしてしまいます。これはクリーンルームとしては望ましくありません。
これらの発光体は、集中した短波長の光を利用しています。つまり、熱が直接対象物に伝わり、周囲の空気を温める必要がないので、部屋の温度を希望通りに維持できます。
なぜセラミック製のエンドキャップを使用するのか
エンドキャップは、問題が発生しやすい部分です。金属製のエンドキャップは時間が経つにつれて酸化し、剥がれてしまいます。
私たちは高品質なセラミックを使用します。これにより、石英と同じ割合で膨張・収縮するので、温度が上下する際にシールが割れる心配がありません。
さらに、セラミック製のエンドキャップはガスを放出したり、破片が飛び出したりしません。そのため、ハロゲンガスを内部に閉じ込め、不要なものを外部に防ぐことができます。
注意すべき点
これらのエンドキャップは、既存の装置にそのまま取り付けることができます。ただし、高純度石英は、ごく普通のガラスよりももろいので注意が必要です。
もし固定用のブラケットがきつすぎると、石英管が膨張する際に割れてしまいます。少し余裕を持って固定してください。ほんのわずかな余裕があれば、問題を避けることができます。
また、電源にも注意が必要です。これらの管は、汚染が一切ない状態を維持するために、限界まで動作しています。そのため、電圧の急変によってフィラメントが破損してしまう可能性があります。PIDコントローラーをしっかり調整して、目標値を超えないようにしましょう。