בחדרי הייצור, השינויים התרמיים שנוצרים במהלך ייבוש הוופרים או עיבוד הפוטורזיסט אינם פוגעים רק בקצב הייצור. הם גם גורמים לשינויים בממדים החשובים של הוופרים, מה שפוגע באיכות המוצרים. בתוך חדרי העבודה הסגורים – שבהם האטמוספירה דחוסה והתנאים התרמיים מוגבלים – החיממים הרגילים מנסים לשמור על אחידות בטמפרטורה, מבלי ליצור חלקיקים. אנו ייצרנו את רכיבי החימום באינפרא-אדום שלנו בדיוק לצורך זה.
מה חשוב בפועל?
אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בטווח קצר, עם מעטפות קוורץ, כך שהחום נמסר במהירות ובצורה ממוקדת, והאפקטיביות שלו נשארת יציבה. כך נשמרת אחידות הטמפרטורה ברמת הוופרים בטווח של ±0.1°C לאורך כל תהליך הייצור. התגובה של המערכת מהירה מספיק כדי לעמוד בדרישות הייצור המהיר. התוצאות חוזרות על עצמן, כך שהתהליכים של עיבוד הוופרים נשארים עקביים, בכל סדרת ייצור. רכיבים אלו מותקנים בחדרי ייצור נקיים מדרגה 1–100, כאשר יש פליטה מינימלית של גזים, והעיצוב שלהם מונע יצירת חלקיקים במהלך הפעולה הרגילה.
למה זה עובד בפועל?
בתהליך ייבוש הוופרים, אנרגיית האינפרא-אדום מסייעת להסיר את הממסים במהירות ובצורה אחידה, מה שמפחית את הפגמים בפני השטח של הוופרים. בתהליך הליתוגרפיה, האחידות בעיבוד הפוטורזיסט מאפשרת שליטה טובה יותר בממדים של הוופרים, וכך יש פחות צורך בתיקונים. בתהליך האריזה, המחזורים של עיבוד הוופרים מסתיימים עם תרחישים תרמיים צפויים, כך שההידבקות והאמינות של הוופרים נשמרות. צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהחיממים מספקים חום רק כשצריך – יש מסה תרמית נמוכה, ופחות חום מבוזבז. האמינות של המערכת נשמרת בזכות זמן הפעולה הארוך; יש לנו מערכות שפועלות 24/7 עם תפוקה יציבה ומרווחי תחזוקה צפויים.
הערות לשימוש:
ההתקנה תלויה באינטרפציה עם חדר העבודה הסגור, בעוצמת החשמל ובמרווחים התרמיים. יש להתאים את הגלאים לגאומטריה של המחזירים, ולוודא שמעגל השליטה של המערכת פועל כראוי – אחרת יהיו נקודות חם וחריגות בטמפרטורה. יש להתאים את המתח, הממדים וסוג החיבורים לצרכי הציוד שלכם. רק כך ניתן להבטיח את האחידות התרמית והאמינות של המערכת.