בקו ה-300 ממ, ניתן להרגיש זאת כאשר פרופיל החימום מתחיל להשתנות. עובי הקווים משתנה, ולאחר העיבוד ניתן לראות חומרים לא רצויים על פני השטח. כאשר אזור החימום מתנגד להגדרות הרצויות, יש בזבוז של חומרי הפוטורזיסט – וזה פוגע באיכות המוצר הסופי. יצרנו את המערכת האינפרא-אדומה שלנו כדי למנוע את הבעיות האלה עוד לפני שהן מתחילות.
מה חשוב מבחינה טכנית? מערך הפולטים של אור אינפרא-אדום בגלים קצרים מותאם לשמירה על אחידות טמפרטורית על פני כל שטח הוואף – בטווח של ±0.1°C במהלך תהליכי חימום שונים. התגובה המהירה של המערכת מפחיתה את העיכוב התרמי, כך שהטמפרטורה נשארת בגבולות הרצויים. אזור החימום מתאים לשימוש בחדרים נקיים, מסוג Class 1 ועד Class 100, והוא אינו יוצר שום חלקיקים במצב יציב. כך ניתן לקבל אמינות 24/7, ללא עצירות בלתי צפויות, והאיכות של המוצר נשארת קבועה מדגם לדגם.
למה זה חשוב בליתוגרפיה? בליתוגרפיה, תהליך החימום הרך נועד להסיר חומרי מפריד ולנהל את המתח בשכבת החומר. תהליך החימום הקשה מאפשר לתמונה להיקבע ולהכין את שכבת החומר לתהליכי חיתוך או השתלה. עם חימום אחיד באמצעות אור אינפרא-אדום, התנהגות החומר נשארת עקבית על פני כל שטח הוואף. הגבולות של השכבות נשארים קבועים, והממדים החשובים נשארים בגבולות הרצויים. כתוצאה מכך, יש פחות צורך בתיקונים, פחות בזבוז של חומרים, ואיכות המוצר טובה יותר.
צריכת האנרגיה גם היא פוחתת. המערכת מחממת רק את האזור הרצוי, והחימום מתבצע במהירות. כך, האנרגיה הנדרשת נשארת בגבולות הרצויים.
ההיבטים המעשיים אזור החימום הוא קומפקטי, והוא צריך להתאים למקום בו נמצאים מודולי הציפוי/חימום. יש צורך במרווחים קטנים סביב הוואף, ומסלולי האוויר צריכים להתאים לאלו שכבר קיימים במערכת.
ההגדרות של המערכת די פשוטות – יש להתאים את עוצמת האור, את האמידות של הפולטים, ואת ההגדרות של PID. לאחר ההגדרות, הפרופיל יישאר קבוע. אך אם משנים את החומרים שמשמשים ליצירת שכבת החומר, או אם משתמשים בשכבות עבות יותר, יש צורך בהתאמות נוספות כדי לשמור על אותה אחידות וביצועים.