בחדרי הייצור, שינוי קל בטמפרטורה של חצי מעלה בלבד יכול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של השבבים, ולפגוע באיכות הייצור. משטחי חימום רגילים אינם מסוגלים להתמודד עם השינויים התרמיים האלה, והחוסר בוודאות הזה משפיע על תהליך הייצור. פיתחנו מייבש אינפרא-אדום קומפקטי לעיבוד שבבים, שנועד להסיר את השינויים האלה מהמשוואה.
חימום באינפרא-אדום: אחידות וחזרתיות ברמה של פחות ממילימטר המכשיר משתמש בגלי אינפרא-אדום שמותאמים לספיגת האנרגיה על ידי החומרים השימושיים בייצור שבבים. כך, האנרגיה חודרת לחומרים במהירות, והטמפרטורה נשארת יציבה בטווח של ±0.1°C במהלך תהליך החימום. ניתן להשיג אחידות ברמה של פחות ממילימטר בכל שטח השבב.
למה זה עובד בדיוק במקומות החשובים? בתהליך הליתוגרפיה, המכשיר מאפשר שליטה טובה על תהליכי החימום השונים, ובכך מקצר את זמן הייצור תוך שמירה על איכות השבבים. בתהליכי ניקוי וייבוש, המכשיר מסיר את הלחות מהשבבים מבלי לחמם את השכבות הרגישות. המכשיר מתאים לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והוא לא יוצר שום חלקיקים, כפי שניתן לוודא באמצעות מעקב בזמן אמת. צריכת האנרגיה נמוכה, מכיוון שהמכשיר מחמם רק את השבבים עצמם ולא את חדר הייצור. המכשיר מיועד לפעולה 24/7, עם חיי שירות של יותר מ-5,000 שעות והפקת אנרגיה יציבה.
הערות פרקטיות לתכנון ההתקנה דורשת מעגל חשמלי של 24 VDC, וכן שולחן נקי ומבודד מרטטים, כדי לשמור על יישור הקרן. המייבש מותאם לשבבים בגודל 150 ממ ו-200 ממ; לשבבים בגודל 300 ממ נדרש ציר התקנה מיוחד ונהלי כיול. יש לבצע בדיקות קצרות כדי להתאים את המכשיר לשבבים הספציפיים שלכם.