חלקי חימום לחומרי עמידות בקרינת UV קיצונית (EUV)
חימום באמצעות קרינת UV קיצונית: האמת ההנדסית הפשוטה
הנה העובדה: אנו מייצרים את המחממים שלנו לשימוש בטכנולוגיית EUV, כדי שיוכלו להתחרות במותגים...
מנורת אפייה לחומרי הגנה נגד קרינת UV עמוקה (DUV)
בחדר הייצור, תהליך חימום הפוטורזיסט אינו רק “הפסקה” בתהליך – זהו שלב בקרה שאי אפשר לעקוף אותו. שינוי של 1°C בטמפרטורת החימום עלול לגרום לסטייה במידות...