دیگر اجازه ندهید انرژی بیهوده در میزهای کارخانههای تمیز صرف شود!
اگر تا به حال وقتی را صرف گرم کردن ویفرهای سیلیکونی کردهاید، میدانید که چقدر این کار آزاردهنده است. شما انرژی را به لامپهای مادون قرمز منتقل میکنید، اما بخش عمدهای از این انرژی هدر میرود.
لامپهای معمولی، انرژی را به همه جهات پخش میکنند. بدون وجود یک بازتابنده مناسب، حدود نیمی از انرژی صرف گرم کردن بدنه میز کار میشود، نه اینکه به ویفر برسد. این کار منجر به هدررفت انرژی و فشار بیشتر بر سیستم خنککننده میشود.
به همین دلیل، از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم.
چرا طلا؟
شاید این موضوع عجیب به نظر برسد، اما در واقع مربوط به قوانین فیزیک است. طلا در بازتاب نور مادون قرمز بسیار عالی عمل میکند. الومینیوم نیز گزینهای ارزانتر است، اما در دماهای بالا نمیتواند عملکرد خوبی داشته باشد.
پوشش طلا، تمام تابشهای معکوس ناشی از لوله کوارتز را جذب کرده و آنها را دوباره به سمت ویفر هدایت میکند. این کار باعث میشود گرما در همان محل مورد نیاز تولید شود، بدون اینکه نیاز به افزایش توان لامپ باشد.
تنظیم دقیق چگالی گرما
هدف، افزایش سریع دمای ویفر است؛ شما میخواهید که ویفر در همین لحظه به دمای مورد نیاز برسد، نه بعد از ده دقیقه.
با استفاده از این بازتابندههای طلایی، مطمئن میشویم که هر وات انرژی واقعاً کار خود را انجام دهد. این روش کارآمد و سریع است. همچنین، به دلیل کارایی بالای این روش، کل سیستم گرمایشی میتواند کوچکتر و سبکتر باشد.
اما نکته مهم این است که طلا کمی حساس است؛ آن از آلودگی متنفر است. اگر استانداردهای کارخانههای تمیز رعایت نشود و روغن یا مواد شیمیایی روی بازتابنده بریزد، عملکرد آن کاهش مییابد. در این صورت، متوجه خواهید شد که گرما به طور یکنواخت به ویفر نمیرسد؛ این اولین نشانهای است که بازتابنده نیاز به تعمیر دارد.
چند نکته برای نصب
ما این بازتابندهها را به گونهای طراحی کردهایم که نصب آنها آسان باشد. آنها قابل جایگزینی هستند، بنابراین میتوانید آنها را جایگزین بازتابندههای فعلی خود کنید، بدون اینکه نیاز به تنظیم مجدد ارتفاع محور Z داشته باشید.
یک هشدار مهم درباره سیمکشی: ولتاژ منبع تغذیه را دقیقاً با ولتاژ لامپ هماهنگ کنید.
دیدهام که برخی افراد سعی میکنند ولتاژ لامپ را بالا ببرند تا از کارایی کم بازتابنده جبران کنند؛ این کار را نکنید؛ چون این کار باعث خراب شدن فیلامنت لامپ خواهد شد. فقط سطح طلایی را تمیز نگه دارید، تا گرما به طور یکنواخت تولید شود.